等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子清潔機(jī)，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來(lái)達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見(jiàn)的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。                                                                   

等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。就以下三個(gè)部分做一個(gè)陳述：

一、控制單元：

目前國(guó)內(nèi)使用的等離子清洗機(jī)，包括國(guó)外進(jìn)口的，控制單元主要分為半自動(dòng)控制、全自動(dòng)控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。

而控制單元又分為啷個(gè)大的部分：1）電源部分：主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的，而2.45GHz又稱為微波等離子

二、真空腔體：

真空腔體主要是分為兩種材質(zhì)的：1）不銹鋼真空腔體，2）石英腔體。

三、真空泵：

真空泵分為兩種：1）干泵 、2）油泵

中頻電源等離子清洗機(jī)，主用作用是物理作用。以單純的離子轟擊清洗物件的表面為主。

射頻電源等離子清洗機(jī)，主要作用是物理作用加化學(xué)作用相結(jié)合，以物理轟擊物件表面濺射出表面原子與氣體中電離的分子，原子產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，以達(dá)到表面改性的作用。

微波電源等離子清洗機(jī)，主用是化學(xué)作用，但是目前國(guó)內(nèi)很少用到，考慮到屏蔽效果的原因。

等離子清洗特點(diǎn)：

容易采用數(shù)控技術(shù)，自動(dòng)化程度高；具有高精度的控制裝置，時(shí)間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；由于是在真空中進(jìn)行，不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染

目前隨著社會(huì)的不斷發(fā)展人們對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量與環(huán)境要求的不斷提高，等離子清洗正逐步替代傳統(tǒng)的化學(xué)清洗被廣泛應(yīng)用于電子行業(yè)（PCB板，LED，手機(jī)，汽車），橡塑，（橡膠，塑料表面清洗，絲?。┽t(yī)療行業(yè)等。

K-mate 系列射頻電源及自動(dòng)匹配器與國(guó)內(nèi)多家知名企業(yè)（戈德?tīng)?，奧坤鑫）等保持長(zhǎng)期射頻電源及自動(dòng)匹配器供應(yīng)。嚴(yán)格的品質(zhì)控制與高配置的進(jìn)口元件相結(jié)合，為產(chǎn)品24小時(shí)不間斷運(yùn)行提供了保障。射頻自動(dòng)匹配器采用L型阻抗網(wǎng)絡(luò)，匹配范圍寬，能夠迅速調(diào)整匹配起輝放電。且能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。為客戶設(shè)備質(zhì)量打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。